随着经济的飞速发展，工业尾气排放量大大增加。等离子光氧一体机可挥发性有机物成为环保治理的重要目标。2013年9月，国务院发布《大气污染防治行动计划》要求推进石化行业挥发性有机物(VOCs)综合整治。2014年12月，环境保护部发布《石化行业挥发性有机物综合整治方案》要求强化废水废液废渣系统逸散废气的治理。
2015年7月，国家环境保护部与国家质量监督检验检疫总局联合发布了新版《石油化学工业污染物排放标准》，其中对于挥发性有机物大气污染物排放限值，废气中有机特征污染物排放限值做出了明确要求。化工逸散尾气中包含以苯、甲苯、二甲苯、酚类为代表的烃类污染物。其限值分别为4、15、20、20mg/m³。该限值较原标准GB16297-1996有了明显的提高。在环保日益瞩目的前提下，进行工业可挥发性污染物治理显得尤为重要。
根据石油化工污水处理设计规范GB50747-2012规定，废气处理可采用生物处理法。当废气非甲烷总烃含量不低于3000mg/m³时，可采用催化燃烧法。
1.生物处理法
生物处理法，可以处理较低浓度的VOCs，核心处理设备是生物滤床。生物滤床中固化了特定生物细菌，通过填料和细菌的吸附作用，以及细菌对VOCs的分解作用，使VOCs转化成无污染的CO2和H2O排放到空气中得到净化。
生物处理技术具有投资少，运行维护成本低的优点。但是目前生物处理技术能够处理的废气浓度一般较低，出口标准相对低。在《石油化学工业污染物排放标准》实施后，没有高浓度有机物达标处理成功案例。
2.燃烧法
燃烧法是利用VOCs可燃性，在一定的温度下，将它们通人到焚烧炉中，就可以使这些有机物燃烧，生成CO2和H2O。即实现了VOCs无害化处理。燃烧法根据燃烧温度和燃烧方式的不同，可以分成催化燃烧法和直接燃烧法2种形式。
催化燃烧法是在反应系统加人某种催化剂，等离子光氧催化一体机在催化剂的作用下，降低VOCs的燃点。使VOCs能够低温下完全燃烧，生成CO2和H2O，然后将它们排人到空气中的方法。目前使用的催化剂类型较多，主要是贵金属催化剂(如Pt、Pd)和非贵金属催化剂(如V、Ti、Fe、Cu等)。 直接燃烧法在运行时，需要补充燃料气，以保持VOCs废气的燃烧。
3.冷凝分离技术
冷凝分离技术原理基于物质在不同温度下具有不同饱和蒸汽压这一物理性质，采用降低系统温度或提高系统压力的方法，使处于蒸汽状态的污染物，蒸汽分压超过其相应的饱和蒸汽分压。进而冷凝成液态从废气中分离出来的过程。
冷凝分离技术流程中，通常包含升压设备、冷换设备。该技术多用于高浓度、高沸点的废气，多用于废气溶剂回收利用，适用范围窄。
4.吸收技术
吸收是利用液体分离气体混合物的处理过程。其作用原理是根据气体混合物中各组分在液体中的溶解度不同，而达到分离目的的传质过程。吸收剂的选择根据混合气体关键组分来确定。
5.吸附技术
任何一种吸附剂对于同一种被吸附的气体来说，在吸附平衡的情况下，温度越低，压力越高吸附量越大。反之温度越高，压力越低，则吸附量越小。因此，气体吸附分离方法通常采用变温吸附或者变压吸附2种循环过程。如温度不变，在加压的情况下吸附，用减压或常压解吸方法，称为变压吸附。
目前使用比较多的是活性炭吸附技术，其特点是出口VOCs浓度较低，缺点是吸附过程放热量大，存在水解和重碳残留等难题。另外活性炭的再生频率和再生完全程度直接影响装置的运行周期和处理效果。因此可以将吸附作为废气净化的最后环节，处理浓度较低的混合气体。 变压吸附的方法早就有工业应用。光氧催化一体机主要应用于气分装置，并有成熟的工业化应用案例。只是用于VOCs治理上，是在近些年刚刚提出的。如果解决吸附剂再生和二次污染的问题，其今后的发展前景广阔。
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